凡是房建类设计规划，无论是哪类用房装修，都是在确保一系列基本配置的基础上进行规划及设计。半导体行业洁净车间也不例外，涉及此类范畴的，也并非只是单纯地对生产车间空间面积、墙顶地的涂装和管道铺设工程进行设计。那么半导体行业洁净室是如何规划设计的呢?
一、信息的对接工作
1、对接建筑基础资料信息
包括了解厂房各楼层尺寸面积、层高、有无承重柱、出入口位置等信息，同时还需要了解厂房现有洁净等级。
2、对接生产线及生产工艺信息
了解生产设备、作业工作台、生产流水线的尺寸大小及摆放位置;生产原料、半成品及成品的摆放位置与占地面积需要;明确人货通道、工作面积、车间内所需操作人员数量等需求。
3、明确企业后期生产规划信息及预算费用信息
提前了解企业**生产的规划，便于提前做好准备，预留合适的后期升级改造空间;明确企业装修设计预算，在合理范围内进行设计规划。
二、设计规划工作
一般来说，半导体洁净室对洁净等级要求都较高，施工难度也随之增加。需要依据室内温湿度、产线所需洁净度、压差排风、照度风量等数据进行合理设计。如静电对半导体行业产品影响较大，会降低良品率，而干燥的环境容易产生静电，因此半导体行业的洁净室内需要对温湿度合理控制，通常将温度设置在22℃左右，相对湿度控制在50%-60%这样的范围内，能有效防止静电产生，同时提升工作人员适宜度。
